庞雅文， 张丛春， 雷 鹏 , 黄漫国, 梁晓波

(1.上海交通大学 微米/纳米加工技术国家级重点实验室，上海 200240;2.航空工业北京长城航空测控技术研究所，北京 101111)

电阻温度传感器是利用敏感材料的电阻值随温度单值变化制得的测温元件。其中，铂电阻具有灵敏度高、精度高、线性度好、测量温区大、稳定性好等特点，广泛应用于温度测控领域。铂是贵金属，早期的线绕型铂电阻成本高，应用受限。随着薄膜技术的发展，铂薄膜电阻在保留线绕型铂电阻优势的基础上极大地降低了成本，该电阻体积小、响应速度快、一致性好、使用方便灵活，市场需求旺盛。铂机械性能差，铂薄膜电阻在生产应用过程中很容易发生机械损伤，且实际应用时电阻薄膜直接暴露于高温环境下存在热挥发和薄膜团聚等问题，影响电阻性能[1-2]，因此对薄膜电阻进行封装保护非常有必要。铂薄膜电阻技术由国外少数几家公司垄断，有着严格保密措施。我国铂薄膜电阻几乎全靠进口且供不应求，因此自主进行铂薄膜电阻温度传感器封装研究，对器件性能提升和铂薄膜电阻国产化，以及我国传感器技术水平提升均具有重要意义。

薄膜电阻封装材料有塑料、金属和陶瓷。商用碳膜电阻封装材料为聚合树脂或绝缘漆，封装工艺简单、价格低廉，材料绝缘性好，但密封性差，不耐高温。金属封装材料有Al、Cu、Kovar合金等，材料热传导率高、机械强度高，但是金属材料与Al2O3陶瓷衬底性能不匹配，导致封装工艺复杂、可靠性低、性能较差[3]。……