高艳姣， 方 波，3， 邓玉强， 於康杰， 戚岑科， 蔡晋辉

(1.中国计量大学 计量测试工程学院，浙江杭州310018；2.中国计量科学研究院 光学与激光计量科学研究所，北京100029；3.杭州大华仪器制造有限公司，浙江杭州311400)

1 引 言

太赫兹波是一种频率在0.1～10 THz区间内的电磁波，在长短波段分别与微波和红外重合，太赫兹研究需要综合应用电子学和光子学技术，是国际前沿交叉学科[1～3]。太赫兹波具有光子能量低、安全性能好、载波频率高、通信频段宽等特点，在光谱测量、雷达成像、安全检查与通信技术等领域具有重要应用价值，在电子信息、军事国防等领域受到广泛关注[4～7]。

辐射功率是光电计量的基本参数之一，也是反映太赫兹波传输特性的重要参数[8]。全球众多机构在太赫兹功率计量领域开展研究并取得了显著进展。2009年，德国联邦物理技术研究院(Physikalisch-Technische Bundesanstalt，PTB)[9]首次完成了在2.52 THz频点的辐射功率测量溯源，测量结果的标准不确定度为7.3%(k=1)。2011年，美国国家标准技术研究院(National Institute of Standards and Technology，NIST)[10]使用碳纳米管阵列材料在0.76 THz频点处的吸收率达到99%。2013年，中国计量科学研究院(National Institute of Metrology，NIM)[11]研制了在太赫兹波段具有高吸收率的材料，并利用该材料制作了太赫兹功率计，实现了辐射功率的绝对测量。2014年，日本产业技术综合研究所(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology，AIST)[12]在1 THz频点实现了1 μW以下的辐射功率测量。

辐射功率和功率密度可以通过太赫兹探测器进行测量，太赫兹探测器可分为单元探测器与阵列探测器。功率响应度是探测器的重要参数，各大机构对太赫兹单元探测器功率响应度及相关参数标定进行研究，技术日渐成熟。……