数字全息显微镜是将光学全息技术、数字图像处理和显微成像相结合的测量方案。设计了基于透射全息干涉原理的光学系统，研制了透射式数字全息显微测试系统样机。整个系统包括光学系统、光机系统和软件系统，主要解决了数字全息显微技术误差抑制技术、再现距离和再现参考波矢量的调整、数字全息显微技术的标定技术及相位快速重建等关键技术。系统可实现微观形貌的纳米级测量、并可延伸至动态测试。

该系统可应用于微机电系统、微光机电系统、纳米技术、半导体和材料科学等领域的微观形貌测试及其相应的动态特性分析。能够记录和再现物体的三维信息，且具有较高的分辨率；对样本物体的影响较小；设备简单，成本低廉；操作简便，可实现动态测试；对测量环境要求不高。在MEMS/微系统、硅片、微透镜阵列和生物医学方面有所应用。

(张立新)