裴 开 刘壮华

（深圳市开玖自动化设备有限公司，广东 深圳 518108）

现代电子技术发展迅猛，尤其是近期国家对于半导体行业的发展进行了强力推动，使得半导体行业相关的设备、技术得以迅速发展，而引线键合作为目前半导体芯片内连技术中运用最为广泛的技术，还存在许多待进一步深入优化和完善的问题（如图1）。

图1 引线键合

线弧成形作为引线键合中最为关键的技术之一，其可靠性、稳定性、适应性、效率是引线键合的质量评定指标中重要的一环，劈刀作为进行热超声焊接的主要焊接工具，也作为线弧成形的主要作用部件，劈刀动作以及劈刀本身对线弧的影响，尚有许多待研究、改善的价值。

1 引线键合中线弧成形的基本动作

引线键合弧形一般包括Q弧形、梯形弧、P弧形、M弧形等，各种线弧成形方法和原理类似，本文以Q弧形和梯形弧的控制动作和参数调试方法来进行分析劈刀动作对线弧成形各个节点的影响，线弧控制的基本动作如图2所示。

图2 引线键合动作示意图

Q弧形和梯形弧的线弧成形动作主要包括：

（1）劈刀第一次反向运动，决定线弧的高度。

（2）劈刀第二次反向运动，决定梯形弧的跨度。（梯形弧特有）

（3）劈刀上升动作放出剩余的线。

（4）劈刀下降动作，将整个线弧牵引拉正，完成线弧成形。

2 劈刀动作对弧形的影响

2.1 第一次反向运动

以Q弧形为例，反向运动的关键参数有三个，分别是反向高度、反向距离、反向角度，通过控制变量法改变相关的变量可以得出每个参数对整个线弧成形的影响方式和作用点（如图3）。……