祖洪飞， 李召兵， 彭来湖

(浙江理工大学 浙江省现代纺织装备技术重点实验室， 浙江 杭州 310018)

近年来，越来越多的创新技术应用到位移传感器中，比如：光栅技术、磁栅技术、磁致伸缩技术、MTS协调加载控制技术和光纤技术等[1]。这些不同原理的位移传感器被广泛应用于航空航天、半导体加工、机械手和生物医学等领域[2]。

目前，国内外学者对位移传感器的研究取得了不少成果。Nie等[3]通过将石墨烯网片粘贴在液晶聚合物基片上，并将其应用于机械振动学中。通过监测应变传感器中石墨烯网片的相对电阻变化，可以检测到结构微小位移引起的应变。Wang等[4]根据电感线圈的磁耦合特性，设计了一种无线无源电路，推导了电阻应变传感器的电阻值与电路总输入阻抗相位的关系，从而实现非接触式的位移测量。Guo等[5]采用直接油墨书写的多层复合结构高精度电阻应变传感器，可优化层平整度和界面强度。周宇等[6]根据激光三角法原理设计了一种激光位移传感器用的收光镜头，实现了工作距离为100 mm，量程为±25 mm的位移测量。张小蝶[7]采用的是磁致伸缩效应和磁致伸缩逆效应均显著的铁磁材料作为敏感元件的位移传感器研究。慕雨松[8]基于相位差滤波原理完成了对增量信号链路的设计和验证实现了ASIC光电芯片在高精度角位移传感器中的创新。上述位移传感器只能测量单一角位移或平面位移，那么可同时动态测量多自由度的位移传感器具有研究价值，尚江坤等[9]通过多个压电陶瓷致动器和激光位移传感器组合设计了一种3自由度定位系统，实现了沿X轴和Y轴移动以及绕Z轴转动的位移测量。……