余晓畅，许雅晴，蔡佳辰，袁梦琦，高 博，虞益挺*

（1. 西北工业大学深圳研究院，广东 深圳 518057；2.西北工业大学机电学院，空天微纳系统（教育部）重点实验室，陕西省微纳机电系统重点实验室，陕西西安710072；3.西北工业大学教育实验学院，陕西西安710072；4.中国科学院光谱成像技术重点实验室，陕西西安710119）

† 共同贡献作者

1 引 言

随着新一轮世界科技革命和军事变革的蓬勃兴起，信息化、智能化正在加速演进。其中，探测识别技术这一“火眼金睛”成为信息获取的重要保证。早在20世纪50年代，美国便开始部署预警探测系统，大力发展目标识别技术[1]。在众多探测识别方法中，光谱成像技术因其可在获取空间信息的同时得到表征目标纹理特征的光谱信息[2]，成为高效精准识别的“利器”。

滤波和成像是光谱成像的两大关键核心。传统的光谱成像系统大多采用分光元件和探测器分立集成的方式，体积较大、工作模式固定。随着微纳加工技术的不断发展，微纳滤波结构的性能也不断优化。利用亚波长结构对光场进行精准高效的调控，为光谱成像系统的微型化、集成化、定制化创造了可能。形式丰富的固定式微纳滤波结构，如微纳光栅[3-4]、金属圆盘[5-6]、互补金属氧化物半导体（Complementary Metal-Oxide-Semiconductor，CMOS）[7-8]、金属-绝缘体-金属（Metal-Insulator-Metal，MIM）结构[9-10]、全介质[4,11-13]等，能够实现像素级的滤波分光和颜色定义，具有较好的稳定性，但是一旦制备成功，滤波特性即被固定[14]，无法根据实际场景灵活改变。为突破固定式微纳滤波结构的局限、满足实际的功能需要、拓宽应用领域，可调微纳滤波结构要持续进行迭代更新。……