陈虎，杨卫英，李剑

（中国工程物理研究院，电子工程研究所，四川 绵阳 621999）

电解质等离子抛光作为一种新型抛光技术自从Duradzhi等[1]公开报道到现在只有30年左右的历史。由于该技术具有无污染、效率高、抛光表面质量好等优点[2-5]，一经报道就引起了广泛关注。如图1所示，零件(作为阳极)表面的电解液在高电压下被汽化，气层被击穿时，在工件表面微观凸起的位置会形成更多的放电通道，导致凸起位置的材料去除量多于其他位置，从而实现对工件的整体抛光。

图1 电解质等离子抛光的原理Figure 1 Principle of electrolysis and plasma polishing

经过多年发展，目前已经开发了适用于铜、铝、钛[6]等金属和合金的电解质等离子抛光技术，被初步应用在战斗机的蜗轮盘、整流叶片、压气机盘等复杂且关键的零件上，展现了良好的应用前景。电真空器件用不锈钢高压电极在工作时需承受极高的电压，为提高其表面的耐压稳定性，除了对电极进行抛光处理以降低表面粗糙度，还需对电极进行老炼处理以消除电极表面存在的“击穿弱点”[7]。鉴于电解质等离子抛光技术的工作原理与高压老炼处有极大的相似性，本文研究了适用于不锈钢的电解质等离子抛光技术，分析了操作条件对电极表面状态的影响，为实现高压电极的高效率抛光提供可行的技术路线。

1 实验

1. 1 材料

试件为直径25 mm、厚2 mm的316L不锈钢薄片。硫酸铵电解盐由国药试剂生产。

1. 2 电极的等离子抛光

无需前处理，采用哈尔滨工业大学研制的40 kW电解质等离子抛光机直接对不锈钢试件进行抛光，抛光电压为380 V。……