孙崇钧 邱 萍

（1.武汉数字工程研究所 武汉 430205）（2.中国船舶集团有限公司 北京 100080）

1 引言

集成电路老炼中测试设备是指在传统静态老炼和动态老炼的基础上，采用老炼中测试技术将传统老炼与电性能测试有机地结合在一起的综合性老炼测试设备，该设备能够确保集成电路老炼效果、优化老炼时间、精确的检测故障至单元级并检测到“可恢复性”故障（即高温动态老炼过程中失效，恢复常温后又正常的故障），最大限度地检测到集成电路在实际工况条件下的偶然失效概率分布情况。为真正贯彻GJB 548B中方法1015要求，集成电路老炼中测试设备广泛应用于FPGA、DSP、CPU及专用芯片等核心集成电路的老炼试验过程中，特别是在武器装备、精密制造、航天航空等高端制造领域［1～3］。

集成电路老炼中测试设备最初主要依赖进口，如美国MCC、AEHR、意大利EDA公司等，随着不断增长的市场需求，国内无论是传统的集成电路测试系统生产厂家，还是传统的集成电路可靠性筛选设备生产厂家，都已经针对集成电路老炼中测试技术推出了具有自主知识产权的集成电路老炼中测试设备，比如新润泰斯特生产的XR8238系列，杭可仪器生产的HRIF-2000系列等，其性能指标均已达到国际先进水平［4～5］。然而，由于集成电路老炼中测试设备内部组成结构、计量参数、接口形式的不同，使得其计量手段不同于常规的ATE，尤其是在实际工况下，需要在计量过程中利用老炼试验箱提供特定的温度以及非常规气体含量等特定的应力条件，对老炼试验箱内多个试验区、每个试验区上百个测试通道进行适配及测量，这将带来较大的实际计量操作的难度与工作量。……