董 锋，徐利云，郭 颖，石建军，方华玉，俞建勇

（1.福建华峰新材料有限公司福建省运动鞋面料重点实验室，福建莆田 351164；2.东华大学理学院，上海 201620；3.东华大学纺织学院，上海 201620；4.东华大学纺织行业先进等离子体技术与应用重点实验室，上海 201620；5.福建华锦实业有限公司，福建莆田 351100；6.东华大学纺织科技创新中心，上海 201620）

遵循仿生原理的超疏水表面制造始于1990年［1］，在表面使用脂蜡质晶体赋予材料自清洁能力，荷叶脂蜡质的主要疏水性基团为C—H 和C—O［2］。1993 年，Kazufumi Ogawa 等［3］使用氟代烷基三氯硅烷对亚微米级的粗糙玻璃板进行疏水化处理，处理后的表面接触角接近155°。经多年研究得出，构建超疏水表面的基本原则包括在表面构建微纳米粗糙结构［4-7］以及改变表面化学组成获得低表面能。

Wang 等［8］利用逐层吸附法获得了TiO2-SiO2复合颗粒薄膜。性能测试后发现，该复合薄膜不仅具有良好的超疏水性能，还具有优异的耐紫外光性能，表面水接触角（WCA）为165°。Zhang 等［9］通过区域选择氧气等离子体刻蚀制备纳米结构的低表面能PET，之后通过CVD 法在基质上形成纳米结构的有机硅疏水层，显示出超级拒水性，接触角高于150°。

等离子体也称物质的第四态［10-11］，等离子体聚合是气相过程，几乎不生成废气和污染物［12］。另外，等离子体与表面间发生几种不同的相互作用，包括等离子体处理、等离子体聚合、等离子体刻蚀等［13］。因此，越来越多的专家学者关注等离子体技术在制备超疏水方面的应用。此外，等离子体技术的快速发展为表面改性打下了坚实基础［14-16］。……