林灿伟，熊 力，李 蓓，黄文彬

（广东电网有限责任公司中山供电局，广东 中山 528400）

传感器在人们日常生活中已经得到了广泛的应用，以我们日常生活中常用的手机为例，一款普通的智能机往往内置了十几只传感器，例如：加速度计、气压计、陀螺仪、指纹传感器、压力传感器、红外传感器、RGB 光线传感器、霍尔传感器、磁场传感器、紫外传感器、GPS/北斗等。随着传感器的广泛应用，在其他特殊行业也涌现出了大量的特殊场景或用途的传感，例如在汽车行业：毫米波雷达/激光雷达/超声波雷达/红外传感器/摄像头五大类传感器。在测高温领域出现了热电偶温度传感器。在测量气体领域出现了各种化学法和气象法的传感器。MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）又称微机械系统和微系统，是指尺寸为几毫米甚至几微米的高科技器件。目前，微纳尺度工业普遍采用的是加工制造结构。这些都被称为微纳加工技术。MEMS 专注于超精密加工，涉及材料、微电子、力学、化学、力学、生物等诸多领域。MEMS 传感器涉及电、力、声、光、磁等微尺度领域，是一门复杂的交叉学科。它是科学技术在人类发展中交叉融合的结晶。

随着传输媒介光纤的问世，传感器这个大门类得到进一步的发展，出现新的一个光纤传感器。光纤传感器（fibre optic senso）的迅速发展始于20 世纪70 年代，即用光纤进行刻蚀光栅然后进行封装做传感器。至今光纤传感器的发展已日趋成熟，并在光纤传感器的基础上发展出了光纤MEMS 传感器。这一新技术在保留了光纤传感器的无源、抗干扰特性，充分融合光纤传感的抗干扰、耐事故能力强的优点的同时，在小型化、高精度方面又有进一步提升，可广泛应用于强电磁场、高温、烟雾等特殊场景。……