张 昊，梁国星，马志飞，娄帅伟

（1.太原理工大学机械工程学院，山西 太原 030024；2.精密加工山西省重点实验室，山西 太原 030024）

1 引言

窄深槽是机械零件上的一种特殊结构，在航空、汽车和液压等领域广泛应用。对于由难加工材料制造的航空零件，尤其是发动机涡轮叶片根部高精密齿槽和窄深直槽的加工，一直是机械加工领域的难题[1]。随着高效磨削技术的发展与超硬磨料的广泛应用，国内外学者使用高速缓进给磨削技术加工窄深槽，逐渐取代了传统的铣槽-热处理-普通砂轮磨削工艺，提高了加工精度和生产效率，降低了生产成本[2]。窄深槽加工过程中，槽侧面的表面粗糙度、表面形貌、金相组织变化、加工硬化和残余应力等因素对槽侧面的耐磨损特性、耐疲劳性以及耐腐蚀性有重要影响，这些表面性能是窄深槽类零件的关键指标，因此对窄深槽表面完整性的研究具有极其重要的意义。

近年来，针对如何提高磨削加工中表面完整性的问题，国内外学者对表面完整性的影响因素做了大量研究。文献[3]分别用开槽砂轮和非开槽砂轮对工件进行磨削加工，工件表面质量对比发现：相同材料去除率相同时，非开槽砂轮磨削得到的工件表面粗糙度值较小，具有较好的表面质量。文献[4]对不锈钢进行精密磨削试验，采用参数优化方法获得了在硬度、耐磨损、抗疲劳、耐腐蚀和抗高温氧化等方面性能的磨削参数。文献[5]分别使用树脂结合剂和金属结合剂金刚石砂轮，对单晶硅进行缓进给磨削开槽实验，结果表明使用树脂结合剂砂轮加工，单晶硅样件崩边尺寸较小，沟槽侧壁表面质量较高。……