孙静，段泽文，安帅帅，李仕华

(1.燕山大学 河北省并联机器人与机电系统重点实验室,河北 秦皇岛 066004； 2.中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室，兰州 730030)

0 引言

MoS2/Ti复合固体润滑膜具有与基底间的结合力强，结构致密，硬度高以及良好的摩擦特性等优点，是航天轴承等活动部件良好的润滑材料[1-3]。随着我国航天事业的蓬勃发展，对高品质空间机构的可靠性、精度、服役寿命提出了更高的要求，这就要求对固体润滑膜的力学性能和摩擦特性进行更深入的研究。

纳米压痕法是目前应用较为广泛的测量固体润滑膜材料相关力学性能的一种方法。文献[4]基于纳米压痕法，利用Berkovich金刚石压头对MoS2，MoS2-Ti，MoS2/C和MoS2/N固体润滑膜的弹性模量等力学性能进行了研究；文献[5]通过纳米压痕仪，采用Berkovich金刚石压头的准静态法对磁控溅射 MoS2，Ti/MoS2，Pb/MoS2和Pb-Ti/MoS2固体润滑膜的硬度和弹性模量进行了测量；文献[6]通过纳米压痕仪，利用Berkovich金刚石压头的准静态法，取10个压痕的平均值，对磁控溅射 MoS2，Au- MoS2和Ti- MoS2固体润滑膜的力学性能进行了测量。

摩擦特性是固体润滑膜的一个重要特性。文献[7]对超高强度不锈钢CF170材料上MoS2固体复合润滑膜的真空摩擦特性和耐湿热性能进行了研究，为MoS2润滑膜在空间机构产品中的应用提供了理论基础和试验数据；文献[8]用球盘摩擦磨损试验机对MoS2/Ti复合固体润滑膜的摩擦因数和比磨损率进行了试验研究；文献[9]利用滑动摩擦试验研究了MoS2/Ti复合固体润滑膜的摩擦特性。……