温立彬，蔡立民，吴 涛，何永春

(国网内蒙古东部电力有限公司兴安供电公司，内蒙古 乌兰浩特 137400)

准分子激光器由于具备三高特性(高单色性，高功率以及高稳定性)特点，其输出谱段恰好能覆盖紫外光谱区，使其广泛应用于工业[1]、医疗[2]和科研[3]等领域。其驱动方式一般采用闸流管释放高压储能电容器中的能量来产生快放电激励。但是，准分子激光器重复频率达数千Hz，闸流管的约109次脉冲放电寿命显得有限，加之闸流管的残余振荡等缺点使上述快放电方式不能适应高重复频率应用的需求。

20 世纪90 年代Gontad F 等[4]首次提出用磁脉冲压缩技术来产生大功率脉冲，随后国外对磁开关应用进行了广泛的研究。国内对磁开关研究主要集中在高压除尘设备、加速器系统和延长激光器快放电中的闸流管寿命[5]。在准分子激光技术中，利用功率半导体开关结合磁脉冲压缩开关的方法产生高压快脉冲来替代闸流管，能避免基于闸流管器件的缺点[6]。虽然半导体开关的寿命比闸流管高3 个数量级以上，但是在长期高重复频率条件下性能也存在明显下降。而且，磁开关回路放电产生残余能量振荡，使准分子激光器寿命收到影响[7]。

综上，研制一种纳秒级、高功率准分子激光器驱动系统是十分必要的。利用本文所研制激光器驱动系统对波长为193 nm 的准分子激光器进行驱动实验，发光正常，证明该驱动系统在实际应用中的可行性。

1 驱动系统硬件设计

驱动系统采用反激电路[8]级联双向半桥驱动电路[9]的双级设计，电路总体结构如图1 所示。……