张国强，杨国牛

（1.西安明德理工学院，陕西 西安 710124；2.西安西谷微电子有限责任公司，陕西 西安 710124）

0 引言

模拟开关是一种重要的器件[1]，应用范围较广，可应用到音频和视频回路，以及自动测试设备、数据采集系统、电池供电系统、采样保持系统、通信系统和航空电子设备等设备与系统中，在多路被测信号共用一路A/D转换器的数据采集系统中，通常用来将多路被测信号分别传送到A/D转换器进行转换，以便计算机能对多路被测信号进行处理。电子多路开关根据其结构可分为双极型晶体管开关、场效应晶体管开关和集成电路开关3种类型。在过去的使用中，单片集成COMS模拟开关一直是切换（路由）和开关模拟信号的首选器件，这种开关由一个P沟道和一个N沟道MOSFET并联而成，栅极受外部驱动电路控制，构成一个寄生参数小、可双向导通的低电阻开关器件[2]。大多数电子元器件的失效率随时间变化的过程可以用浴盆曲线进行描述，早期的失效率随时间的增加而迅速下降，使用寿命期内失效率基本不变[3]。

具有高可靠性的电子元器件是通过设计并生产出来的，但是再好的生产控制程序和生产工艺也无法避免质量问题的存在。电子元器件的二次筛选已经被证明是有效保障电子元器件可靠性的重要手段。它能够将其中有潜在缺陷的早期失效产品剔除，从而保证电子产品最终使用的可靠性，还可以评估和比较不同产品的质量和可靠性[4-5]。因此需要对集成电路模拟开关进行一系列的可靠性试验，其中的电参数测试是非常重要的一环，也是提高产品可靠性的一种非常有效的手段。……