摘要：纳米材料由于其优异的性能而成为当前的研究热点，这些都归因于其微小尺寸和特殊结构。在实际应用中，可以通过多种方法来调整材料的结构和成分以获得高性能的纳米材料。迄今为止，离子束技术已广泛应用于调节各种纳米材料的性能。与传统方法相比，离子束技术（包括离子注入，离子辐射和聚焦离子束等）都是纯物理的过程，不会引入任何杂质到目标材料中。此外，离子束技术还具备高度的可控性和可重复性。本文主要介绍氪离子在晶体硅的微纳米结构修饰方面的应用研究。

关键词：离子束;微纳结构;形貌修饰

材料是反映科学技术发展水平的重要标志之一。近年来，作为最杰出的新材料之一，纳米材料已经成为人们关注的焦点。纳米材料由于其特殊的结构而具备一些独特的性能。当材料达到纳米尺度时，其光、电、磁等属性将会产生量子尺寸效应，表面和边界效应以及库仑阻塞效应。[1]目前，纳米材料已经被广泛应用于计算机、催化、传感器、能源与环境保护等领域。[2]随着应用需求的增强，人们希望能够制造出性能更加出色的纳米材料。为了改善纳米材料的性能，掺杂、表面重构、半导体复合材料以及金属纳米粒子嵌入等技术均被应用于实验中。[3]如今，离子束技术，包括离子注入、辐照和聚焦离子光束（FIB）均被广泛应用于调控纳米材料的性能。此外，离子束技术亦被认为是非常有前景的掺杂和表面改性技术。……