何 磊，蔡媛媛，魏 然，戴 莹，吕 栋，虞勇坚

（中科芯集成电路有限公司，江苏无锡 214072）

1 引言

集成电路测试环节既是集成电路产业链中的一环，也是验证出厂的关键。由于各种因素的影响，如制造工艺发展所带来的挑战，新的故障模型、新的测试向量生成方法和新的可靠性保证，集成电路日益复杂和性能的不断提高，测试速度和引脚数不断攀升，对测试的要求也向着高速模数混合测试方向发展[1]。

宇航集成电路属于集成电路中的最高质量保证等级，对测试数据的准确性要求当然更为苛刻，但实际生产过程中测试数据有时会由于偶然缺陷或测试系统的不稳定导致结果差强人意，严重影响宇航集成电路筛选检验结果的准确性。如何快速判别测试系统测出的数据准确性已经成为集成电路测试行业所面临的问题。以中国空间技术研究院于2006年建立的“CAST规范”标准体系为例，就对宇航集成电路中关键参数进行了4个方面的具体要求：第一，参数在批次内的一致性；第二，参数在批次间的一致性；第三，参数在全寿命周期内的一致性；第四，参数在三温测试的一致性[2]。该标准体系发展到现今已经要求对筛选测试数据全部参数进行一致性分析。在GJB597B-2012中的质量保证大纲中的自查要求、GJB7400-2011中的QML体系要求等，都明确承制方需要及时发现筛选检验过程中测试系统测试数据的异常，从而采取纠正措施。及时发现过程异常是手段，促进不断改进质量才是目的[3]。……