陈东菊 程 锴 董丽华 潘 日 范晋伟

(北京工业大学机械工业重型机床数字化设计与测试技术重点实验室，北京 100124)

由于气浮工作台具有摩擦小，在工作过程中与溜板无直接接触等优点，被广泛应用于精密超精密加工。作为超精密机床的重要运行部件，其稳定性对加工精度起到关键的作用。空气静压轴承作为其基础部件，其稳定性直接影响到工作台的加工精度。空气静压轴承具有摩擦小，温升小，回转精度高，运转平稳，寿命长等优点[1]。王晓明等[2]分析了通过改变节流微孔的大小及数量，平均半径间隙等对空气静压径向轴承的承载力和刚度的影响。李琦等[3]分析了通过仿真改变节流微孔的数量及节流孔直径，压力腔的直径和深度对轴承稳定性的影响。叶燚玺[4]通过仿真和实验验证了气腔产生的气旋是引起微振动的主要原因。李鹏[5]通过仿真单小孔节流器和微孔阵列式节流器后的结果对比，得出微孔阵列式节流器能够减小振动。邹麒等[6]针对不同孔径、不同孔数的微小孔阵列式节流空气静压轴承，通过三维仿真研究了其气膜压力分布及气膜刚度等性能参数。Chen Xuedong等[7]通过仿真及实验验证了阵列式微孔有效抑制气旋及空气静压轴承的振动。陈东菊等[8]分析了节流孔直径，气腔的结构形状和供气压强等因素对气膜波动的影响。Chen Xuedong等[9]提出有腔存在时，节流孔和气腔处存在气旋引起高温以及气膜波动。龙威等[10]通过仿真实验分析了供气压力，供气直径及气腔结构对气旋位置和强度的影响。……