乔建彬

全国产化设备 解决“卡脖子”问题

“可别小看这些薄片，每张市场售价高达2 000美元（约合13 109.6元人民币），解决的是核心技术‘卡脖子的难题。”烁科晶体粉料部经理马康夫介绍。

走进烁科晶体碳化硅生产车间，白色的长晶炉整齐列成一排，碳化硅晶片就在里面安静地生长。车间内，工作人员不时站在设备前倾着身子仔细观察，材料室内，研究人员正在专注检验。

“现在，我们所使用的粉料合成设备、长晶炉都是自己研发、自己生产的设备。设备的配套产品和功能元器件能满足长期、稳定、可靠的使用要求，同时节能效果好，具有连续工作高稳定性和良好精度保持性。”马康夫介绍，基地一期项目可容纳600余台碳化硅单晶生长炉。

碳化硅是全球最先進的第三代半导体材料，具有耐高压、高频、大功率等优良的物理特性，是卫星通信、特高压、轨道交通、电动汽车、通信基站等重要领域的核心材料，尤其是在航天、军工、核能等极端环境应用领域里有着不可替代的优势。与普通硅基器件相比，碳化硅器件的耐压性是它们的10倍。

“打个比方，5G之所以传输速度快，正因为它拥有一颗足够强大的5G芯片心脏，碳化硅晶片就是5G芯片最理想的衬底。”马康夫说。

研制碳化硅晶片，高纯碳化硅粉料是第一步，粉料制作完成后，最关键的工序是晶体生长。“碳化硅晶体生长不同于硅材料的生长，它是气相生长。由碳化硅粉末在碳化硅单晶生长炉内经受高达2 000 ℃的高温，密闭生长7天，长成一个直径为10.16厘米或15.24厘米的圆饼状晶锭。……