李光耀，张 治，牛启明，刘致顺

（中国航发北京航空材料研究院，北京 100095）

0 引言

真空设备是材料研究过程中必不可少的一类设备，随着航空材料加工工艺的快速发展，涉及到的真空设备种类越来越多，如真空感应熔炼炉、真空自耗熔炼炉、真空自耗凝壳炉、真空热处理炉、真空钎焊炉、真空雾化制粉炉、真空镀膜设备等。

由于真空设备工艺条件的需要，中国航发北京航空材料研究院（以下简称“研究院”）在真空系统中多数情况下采用增压泵。但是增压泵在工作过程中易发生爆燃事故，所以对真空系统的爆燃事故进行分析，并对存在的爆燃隐患采取有效防范措施，规范真空设备使用流程，可以保证安全生产，避免人员受伤和设备损坏，对于保障科研生产的顺利进行具有重要意义。

1 真空系统的构成

真空是指在一定的时间内，气体压力低于一个大气压的气体状态。真空设备种类较多，其核心部件是抽气系统，可以使真空容器内获得所需的真空条件。通常真空设备利用管道、阀门连接泵与处理容器[1]。真空泵抽真空使得真空容器达到合理的真空度，真空容器通常配套相应的真空测量装置，这3部分组成最基本的真空抽气系统。基本真空系统可以获得低真空范围内的真空度，不同设备对真空度要求也不相同，高真空度则需在真空系统内串联一个高真空泵，在其进出口管路上添加阀门使之单独保持真空。多个真空泵串联组成的真空系统，通常把抽低真空的泵叫做它上一级高真空泵的前级泵，最高一级的真空泵称为真空系统的主泵，被抽容器中的极限真空度和工作真空度由主泵确定。……