罗向军，汪启桥，吕根品，李 刚，肖远龙，

(1.乳源瑶族自治县东阳光化成箔有限公司，广东韶关 512721；2.韶关东阳光科技研发有限公司，广东韶关 512721；3.东莞东阳光科研发有限公司，广东东莞 523871)

铝电解电容器具有高容量和高耐压等特性，是电子工程中一种重要的基础元器件。为了满足铝电解电容器小型化需求，要求电容器核心材料阳极箔具备高比表面积。目前，在酸性高温溶液中对铝箔进行电化学腐蚀是制造高性能的高压电极箔非常成熟的工艺[1-4]。由于受晶体学因素控制，孔洞将会沿着(100)方向以数μm·s-1的速度生长，从而形成大量隧道孔[5-6]。在这个过程中，隧道孔侧壁会钝化，而孔洞尖端保持活性状态。目前已有大量研究工作系统考察了隧道孔生长过程的控制因素[5-9]。

隧道孔生长过程通常会存在锥度现象，而锥度的产生普遍认为是因为孔内离子传质阻力和欧姆降的增加所造成。Goad 研究了铝箔腐蚀时隧道孔形貌，提出隧道宽度与深度呈现指数关系[10]。为了获得高比容，需要对发孔铝箔进行扩孔处理，以得到预期的孔径。而隧道孔的锥度使得通过扩孔工艺来获得合适孔尺寸变得更加困难。当前常用的扩孔工艺主要包括硝酸溶液中电化学扩孔技术和盐酸溶液中纯化学扩孔技术。而这两种扩孔工艺导致腐蚀箔的孔洞结构也会有所不同[3，11]。目前，大量优秀的研究工作都表明，隧道孔的结构对阳极箔性能有很大影响[9，12-15]。然而，这些工作都侧重于隧道孔型与阳极箔比容的研究，而关于对化成能耗和孔内电解液特性影响的研究很少报道，尤其是孔内Cl-传质及电解液温升速率方面几乎未有报道。……