行卫东，赵振华，王 杰，朱 刘

银钯合金靶材废料的综合回收研究

行卫东，赵振华，王 杰，朱 刘

(广东先导稀材股份有限公司 国家稀散金属工程技术研究中心，广东 清远 511517)

采用硝酸浸出-选择性分离钯-沉淀分离铟-抗坏血酸还原银的湿法工艺分离回收银钯合金靶材废料中贵金属银钯。结果表明，用4 mol/L硝酸，90℃加热，120 min即可完全浸出所有金属；浸出液采用理论量1.6倍的丁二酮肟可以完全沉淀分离99.9%以上的钯；将滤液调节至pH=5，其中的铟、铁、镓等可被沉淀分离得到纯净的硝酸银溶液；控制富银液pH 8～10，用0.8倍银质量的抗坏血酸可将银完全还原，银粉直收率大于96%。

有色金属冶金；靶材废料；银钯合金；选择性沉淀钯；还原银粉

贵金属银钯合金靶材因其优异的性能，在电子元器件领域具有重要的应用[1-2]。在合金靶材生产过程中有大量废料或切削料产生，其中含有丰富的稀贵金属。根据目前半导体靶材溅射的工艺，一般靶材的利用率只有30%左右，剩余的残靶只能经过重新回收提纯精炼后再利用。并且靶材生产加工过程中，涉及多个环境，会产生多种切削料、边角料等贵金属废料。同时，此种废料一般含有较高纯度的单一金属，避免了常规原矿冶炼精炼过程中涉及的其他铂族金属难分离的问题，在后续精炼提纯过程中有很大的优势。近年来，随着电子工业的快速发展，技术的不断更新换代，贵金属银、钯纯度要求越来越高，需求也日益增长。因此，为了提高稀贵金属材料的利用率，节约成本，研究从银钯合金靶材废料中高效回收稀贵金属的工艺路线具有客观的经济价值，也符合国家环境保护、二次资源充分利用的要求。……