刘英杰，黄 勇，景显东，林 刚*

(1.中昊光明化工研究设计院有限公司，辽宁 大连 116031；2.山东昌邑石化有限公司，山东 潍坊 261300)

1 前 言

随着工业的迅速发展，人们对工业生产的要求也越来越高。作为工业生产过程中重要环节的清洗主要采用水和有机溶剂。挥发性溶剂和含卤素的氯氟烃溶剂作为使用最多的有机溶剂，世界年用量高达几百万吨，与此同时对臭氧层产生的破坏以及对环境造成的污染也很严重[1]。水溶液清洗浪费大量的水资源、干燥时间长、处理的金属易于生锈，且会形成二次污染。为此，绿色环保的清洗剂和清洗方法的攻克成为亟待解决的问题。

超临界CO2因具有粘度低、表面张力小和对溶解对象的传输速率大等特点，使其具有溶解材料表面有机和一些无机污物的能力。超临界CO2清洗技术在对材料的清洗过程中具备不与材料反应、低粘度、低表面张力、优良润湿性、高扩散性、易于进入待洗材料内部清除死角尘垢、且清洗后无需干燥、无残留的优点[2]，因此超临界CO2可以代替VOC和CFC作为清洗剂。

超临界CO2清洗技术作为一种清洁化生产和绿色工业的新工艺和新技术，清洗过程中不会产生工业废料，清洗过后无残留，被清洗样品无需二次干燥处理，且CO2可回收再利用，安全性好，成本低，来源广，环境友好，因此在工业生产中具有广阔的应用前景[3]。

2 超临界CO2清洗技术应用

2.1 电子元器件领域

近年来，随着电子信息行业的高速发展，对电子元器件表面清洁度的要求越来越高。……