袁淑筠，禹金龙，张观海，韦杰广

(广东华特气体股份有限公司，广东 佛山 528241)

0 引 言

乙烯(C2H4)常温常压下为无色，略具特殊臭味的可燃气体，一般储存于阴凉通风，温度不超过30℃，远离阳光、火源、热源处。仓库要求采用防爆型通风、照明设备，做好避雷和静电接地防护，且与氧气、压缩空气、氧化剂等分开存放。运输使用期间禁用易产生火花的工具，应轻拿轻放。

C2H4是现代石油化工的重要原料，通过它可以用于制备聚乙烯、环氧乙烷、乙二醇、二氯乙醇、氯乙烯、乙醛、乙酸、乙苯、苯乙烯、乙醇、α-烯烃等[1]，乙烯衍生物产品已遍布有机原料、高分子材料等各个方面，因此，乙烯的产量某种程度上代表着国家的石油化工技术水平。

上述用途，对C2H4纯度要求不高，99.9%即可。高纯C2H4广泛应用在冶金、电子、化工、石油等工业部门和基础研究、大气污染监测、航空、原子能等领域，作配制标准气、在线仪表标准气、校正气、特种混合气之用，其纯度必须在99.995%以上才行[2-3]。在半导体行业，C2H4用作蚀刻工艺的反应气，纯度要求大于99.9995%，假如C2H4里面含有的其他碳氢杂质偏高，会和硅板某些成分形成定向蚀刻，则会影响其蚀刻速率。总之，市场上对高纯、超高纯C2H4的需求越来越广，现有的低纯C2H4已经不能满足客户的需求。

查阅文献，以低纯(95%～99%)C2H4的制备为主。李淑琴[2]用精馏加吸附法，原东风[3]通过色谱柱吸附和脱附法，得到高纯的C2H4产品。如何制备超高纯C2H4的方法未见报道。本司结合Aspen Plus软件模拟的结果，设计了一套精馏塔，用精馏加吸附的方法，成功将含有氧(O2)、二氧化碳(CO2)、一氧化碳(CO)、乙烷(C2H6)、乙炔(C2H2)、氢气(H2)、甲烷(CH4)、碳三及以上杂质的粗C2H4提纯到99.9995%以上。……