雷盼灵, 钱超义, 王 旭, 王志萍, 许雪芬

(无锡职业技术学院 基础课部,江苏 无锡 214121)

随着科技的进步,电子产品在工作生活中占据着重要的地位,其核心部件就是印刷电路板[1]。而印刷电路板制造的主流技术是光学投影曝光光刻技术,光刻机的性能即能量分配的均匀性对印刷电路板的分辨率起着决定性的作用,因此光刻机的一个关键技术即是激光整形技术[2]。激光整形技术就是将激光在空间中的能量分布进行重新分配,使其在加工的目标面上产生均匀的辐照度分布[3-4]。此外,激光整形技术还广泛地应用于激光打印、材料微加工和医疗手术等领域,激光整形的效果直接决定了仪器整体性能的优劣。

目前常用的激光整形方法有二元光学元件、液晶空间光调制器、双折射透镜组、随机相位板、自由曲面光学元件进行整形、微透镜阵列等[5-7]。其中,微透镜阵列是激光整形里面一种非常普遍的方法,其具有体积小、辐照均匀、材料方便、工艺简单、易于集成等优势[8-10]。然而,微透镜阵列系统在加工与装配中误差是不可避免的,这些误差会导致所照明目标面的均匀度和效率有所下降,因此针对微透镜阵列进行公差分析非常有必要。

现在常用的办法是人工调试某个元件的离轴,偏心等各种公差进行分析均匀度的变化,然而这些公差并非独立存在,因此分析多种公差叠加后的照度均匀度的变化及效率的变化具有重要的意义。为解决这一问题,本文构建了一个自动化的公差分析平台。……