王答成 刘晓芳 曾召

（彩虹显示器件股份有限公司电子玻璃研究院 咸阳 712000）

0 引言

基板玻璃由于其特殊的用途和后续制程工艺的精细，要求玻璃内部及表面要非常纯净。但在基板玻璃的后加工过程中，表面会有一些残留的污染物，这些污染物用常规的清洗工艺很难清除，影响产品品质，需要对污染物的成分进行分析进而找到其来源，以便从源头进行有效控制。因为污染物在玻璃表面，在取样测试过程中极易造成二次污染，干扰测试结果，因此，要求取样及测试过程中不能接触样品。

经过长时间的探索验证发现，光学显微镜与激光共焦拉曼光谱仪联用可以满足基板玻璃表面污染物的检测分析，不用对样品进行二次加工，测试过程简便快速。

1 激光共聚焦拉曼光谱仪测试原理

拉曼光谱方法是研究化合物分子接受光照射后产生的散射，散射光和入射光能量级差及化合物振动频率与转动频率之间关系的一种分析方法。这种方法是基于印度科学家C.V.拉曼（Raman）发现的拉曼散射效应，对于和入射光频率不同的散射光谱进行分析，从而得到分子的振动和转动方面的信息而用于研究分子结构的一种方法。

当用一定频率v0的激发光照射到物质分子时，光子与分子外层电子相互作用，电子吸收光子的能量，跃迁到更高的能级，然而电子处在高能级状态是不稳定的，它必须回到低能级。电子从高能级跃迁回低能级的过程中会以光子的形式释放能量，如果电子跃迁回到原来的能级，释放的光子频率不变，这是电子对光子的弹性散射，没有能量交换，只是传播方向发生的变化，这种散射方式称为瑞利散射（Rayleigh散射）。……