徐小芳，李小冲（清华大学深圳国际研究生院，广东 深圳 518055）

0 引言

扫描电子显微镜通过多级聚光镜将电子枪发射的电子束缩小至纳米级光斑，通过控制扫描线圈使电子束在样品表面扫描，激发的二次电子（或背散电子）被检测器收集并放大，作为调制信号同步调制阴极射线显像管（CRT）电子束，从而获得样品表面各种特征形貌的扫描图像[1]。扫描电子显微镜广泛应用于材料分析、纳米科学研究、生命科学研究等领域。

放大倍数是扫描电子显微镜最常用的功能，早在20世纪70年代国外已经开始了相关方面的研究。中国在1988年也发布了JJG 550-1988《扫描电子显微镜检定规程》，1996年国家教委也发布了JJG（教委）010-1996《分析型扫描电子显微镜检定规程》，两个标准方法均对放大倍数示值误差做出要求[2,3]。早期的扫描电子显微镜用普通的CRT显示器显示样品形貌，然后通过拍照并用固定大小的底片打印输出图像，然后用比长仪测量图像两点间的间距[4]。随着科技进步及电子显微术的快速发展，图像输出设备也越来越多样化，如果用打印出图像后，再测量长度的方法来计算放大倍数，会导致实测放大倍数因打印设备及打印载体尺寸不同而不同，放大倍数的校准将失去意义。

表1 校准用测量标准Table 1 Measurement standards for calibration

1 测量标准

总结JJG 550-1988《扫描电子显微镜检定规程》与1996年国家教委发布的JJG（教委）010-1996《分析型扫描电子显微镜检定规程》对测量标准的要求，见表1。

规程中提到的扫描电子显微镜放大倍数标准样品SRM484系列现已停售。……