刘 佳，万继响，吴春邦，王旭东，任联锋，李 静

(中国空间技术研究院西安分院，西安 710000)

0 引言

太赫兹遥感探测技术是二十一世纪逐步兴起的一项新兴载荷技术，其对于地球大气对流层/平流层物质与能力交换、臭氧和大气痕量气体的变化、对流层化学、临近空间大气环境、全球气候变化具有重要意义，是大气科学、环境科学和全球变化非常重要的研究方向，已然成为国内外知名航天机构的研究热点[1-6]。其中，太赫兹天线技术是保证卫星载荷任务能否成功的一项核心关键技术，天线产品也是载荷系统功能实现的核心硬件设备。由于太赫兹频段很高，波长尺度已达到了亚毫米量级，如图1所示。随着工作频率的升高，天线器件的特征结构尺寸很小，所要求的加工精度也越来越高，传统的机加工艺已无法实现天线复杂精细结构的加工制造，制造工艺能力的提升对于天线技术的发展尤为必要[7-8]。

图1 太赫兹波在电磁波谱的位置

文章以太赫兹遥感载荷前端太赫兹天线馈电系统研制为目标[9-10]，选取了太赫兹喇叭馈源、频率选择表面、极化栅网等三种典型馈电器件，针对器件各自不同的结构特征，详细介绍了其可选用的工艺技术方案以及研究进展情况，其中部分产品已实现了在轨应用，工艺可行性得到充分的验证，研究成果可为后续同类型天线产品的研制提供有益的工程经验和技术支持。最后，对未来太赫兹天线技术的进一步发展，突破制造工艺技术的瓶颈，给出了相应的建议和措施。……