北京京东方显示技术有限公司 王 丹 徐习亮 董 斌 包远福 鲍子胜 党亮英 王 超 蔡 婷

伴随着4K、8K、低蓝光等高端液晶显示产品的问世，液晶显示面板以其技术创新带来的优秀性能仍旧占领市场主流。随着高端产品的不断增多和企业本身对TFT-LCD产品品质的不断追求，产品特性的SPC趋势管理势在必行。本文讲述了关于TFT-LCD产品的金属层特性——膜厚特性RS的一种SPC管理方法，文章通过数据研究及分析为RS特性量身定做出一套方便实际应用的SPC管理方法。

1 TFT-LCD金属层简介

TFT（Thin Film Transistor）是薄膜晶体管的缩写。TFT-LCD（薄膜晶体管液晶显示器）是液晶显示器的一种，这种液晶显示器上的每一个像素都是由集成在底层的薄膜晶体管来驱动，从而带动液晶偏转可以呈现高速度高亮度高对比度的“真彩”画面。TFT-LCD的主要特点是为每个像素配置一个半导体开关器件，因此TFT-LCD的金属膜层对产品性能非常重要。金属膜层有些可以充当电极、信号传输线，有些可以起到屏蔽电磁波、隔绝外部静电的作用。例如某些产品缺少隔绝静电的金属层，产品会受静电影响而影响显示，如图1所示的“手写屏”。而作为电极和信号传输的金属层如果出现异常则会导致LCD产品呈现出污渍不良或Mura不良等。

图1 缺少静电防护金属层

TFT是在玻璃等基板上通过溅射、化学沉积工艺形成制造电路必需的各种膜，其金属层采用磁控溅射工艺成膜。成膜过程中，气体原子在电场作用下电离成气体离子，气体离子受电场作用运动轰击靶材，引起靶原子迁移产生溅射，最终沉积至玻璃基板上形成金属薄膜。……