刘启发，张 琳，赵子岳，胡金高娃，宾璟橦，成谢锋

1.南京邮电大学通信与信息工程学院，江苏 南京 210003

2.南京邮电大学电子与光学工程、微电子学院，江苏 南京 210023

近年来，柔性材料以可拉伸、可折叠、可弯曲等性质在光子器件领域拓展出特有的光电性能，同时柔性光子器件具有低能耗、抗电磁干扰等明显优势［1］，因此在通信技术［2］、传感技术、生物医学等多学科交叉领域具有广阔的应用前景。

聚二甲基硅氧烷（PDMS）以其优异的化学惰性、热稳定性、光学透明性和生物相容性在医疗卫生［3－7］、光互连［8－11］、生物表皮传感［12－13］等领域被广泛应用。2015年，Karrock等［3］提出通过调控PDMS布拉格光栅的眼部压力传感器，用于治疗青光眼和增强人工晶状体；与之类似，通过布拉格光栅的滤波波长⁃光栅参数⁃受力的关系实现力敏检测的PDMS光学力敏传感器应用于表皮传感［6］；以及在光互连领域拉伸和弯曲波导不会大程度增加额外损耗的PDMS 可拉伸光波导链路［10］。

由于PDMS材料成本低廉、适用领域广泛以及微纳米加工技术的发展，2012年，Ramuz等［6］设计了两个厚度为600 μm的PDMS双向集成型波导耦合光栅压力传感器。2021年，Peng等［13］提出类似结构并通过硅光栅模板获得PDMS耦合光栅，因其基于布拉格条件可以很好地实现光子信息的高效获取，并且具有较高的空间自由度、较小的对准容差，有利于光子芯片的集成封装［14］。在PDMS基集成光子器件的研究［11，15－18］中，Bosman 等［10］提出应用于通信网络WDM的集成光学器件：存在单个波导光栅的非对称型PDMS布拉格耦合器（ABC）的滤波器；……