吴赵敏 ，杨 林 ，王辛龙 ，庄海波 ，叶润洲 ，王 烨 ，，李耀基

（1.四川大学化学工程学院教育部磷资源综合利用与清洁加工工程研究中心，四川成都610065；2.云天化集团有限责任公司）

磷酸（H3PO4）作为化工生产过程中极其重要的原料，是人们生活中不可或缺的物质。按照磷酸纯度大致可分为5 个等级：工业级、饲料级、食品级、电子级以及芯片级［1］。 其中电子级磷酸作为一种超高纯度的化工原料， 被广泛应用于大屏幕液晶显示器和集成电路等微电子工业的湿法蚀刻与湿法清洗工艺中。 含铝蚀刻废液即为湿法蚀刻过程产生的酸性废液。 自2012 年起，中国工业蚀刻废液产生量大致为200 万 t/a，年增长率超过 5%［2］。 表 1 为蚀刻废液的主要化学组成。

表1 蚀刻废液主要化学组成

目前，对铝蚀刻废液回收二次利用的研究较少。周兆安等［3］以处理后的化学蚀刻磷酸废液和工业尿素为基本原料，合成了高纯度的饲料级磷酸脲；毕亚凡等［4］则以化学蚀刻磷酸废液和低品位磷矿为原料生产磷复合肥，既二次利用废液中的磷资源，又有效利用低品位磷矿中的磷资源。 含铝蚀刻废液是以磷酸为主要成分的混合酸体系， 磷酸中的阳离子脱除方法主要有4 种：化学沉淀法、溶剂萃取法、浓缩结晶法以及离子交换法。 其中离子交换法由于易实现工业连续生产、方法稳定可靠、产品纯度高而备受青睐。 X.K.Leng 等［5］用阳离子交换树脂在静态的情况下脱除湿法磷酸中的铁离子，结果表明可脱出其中70%的铁离子，但未做动态连续性研究。……