刘坤林 彭 晨

（ 电子科技大学光电科学与工程学院，四川 成都610000）

1 概述

铂属于一种贵金属元素，单质俗称白金，化学符号为Pt[1]。铂金属具有银白色光泽，具有良好的延展性与导电性[1-2]，由于铂的化学性质极其稳定，不溶于任何酸碱溶液（除王水外），在空气中不氧化，因此铂的应用十分广泛，其中铂热电阻已经广泛应用于航天、工业加工等领域。氧化铝陶瓷是一种主体为氧化铝的陶瓷材料，根据氧化铝含量的不同，习惯上把它称为90瓷、95 瓷、99 瓷等[3]，具有机械强度高、导热性强、热膨胀系数小，重量轻的特点，同时氧化铝陶瓷还具有耐化学腐蚀的特性。由于其众多方面的优越性能，氧化铝陶瓷已经被应用于制造厚膜、薄膜电路基板、火花塞瓷体、电真空器件等。因此本文将在氧化铝陶瓷片基底上沉积金属铂薄膜，用以制作一种快速响应型薄膜温度传感器。

2 实验

本实验使用英菲讯光电科技公司制作的铂靶材，兴虹飞电子科技公司制作的4 英寸99%氧化铝陶瓷片。金属图形化过程中光刻使用的是锐材半导体有限公司的NR-3000 型负性光刻胶，瑞虹公司的负性显影液。整个制备工艺流程图如图1 所示。

图1 制备工艺流程图

2.1 传感器图案设计

为了能使制备的温度传感器响应速度快，本文计划将制备的传感器的体积缩小至毫米量级以降低传感器整体的热容，因此传感器图案面积需要尽可能传感器体积相匹配。为了能够了解蛇形图案的复杂程度是否会对制备……