田嘉龙 邬昱龙 李美萱

摘要：相比于传统的目视检查法、荧光发光法、颗粒尺寸数量法，存在效率低、精度不高、耗时长、对白色污物和气泡的识别易引起误判等问题，提出使用迈克尔逊干涉原理和显微成像法相结合，将无污染样品和被污染样品通过干涉条纹的变化进行对比分析，通过在传统迈克尔逊干涉仪中增加了空间滤波器和显微透镜，进而减少了实验环境对成像结果带来的误差，从而实现对样品清洁度的高质量，高精度检测。实验结果表明：通过改进后的迈克尔逊干涉仪和显微成像法相结合的方法，可以更精确更高效地对零件表面清洁度进行检测，该方法有望为精密仪器中光学零件和机械零件的自动检测提供新的技术实现路径。

关键词：清洁度 迈克尔逊干涉 显微成像

1引言

光学精密测量一直是计量测量技术领域的主要方法。由于非接触式、高灵敏度、高精度的光学测量方法，在现代科学研究、现代技术、工业生产、空间技术和国防技术中得到了广泛的应用，并已成为一种不可替代的技术。科技的发展使得光学检测技术的应用更加广泛。随着现代光学加工技术的发展，高质量的光学零件可以采用多种加工技术进行加工，尤其是非球面反射镜，光学器件常常会因一些微小因素的干扰而影响零件质量，因此光学零件表面清洁度的大小显得异常重要。

2 理论分析

迈克尔逊传统干涉仪仪验原理如图1所示，干涉系統由分光板Glass1，补偿Glass2，平面反射镜N1和N2组成。……