李晓飞,张周强，张守京，周 玲

(西安工程大学机电工程学院，陕西 西安 710600)

0 引言

迈克尔逊干涉仪作为物理光学实验的重要光学仪器，广泛应用于测量激光波长、微小位移变化、折射率、弹性模量等领域，在干涉测量技术领域中具有重要的地位和作用[1-4]，迈克尔逊干涉仪结构设计原理基础广泛应用于生产和科学研究领域。

在迈克尔逊干涉微小位移测量实验中，其检测原理均是根据微调手轮的移动改变光程差，引起干涉牛顿环的明暗变化，通过对干涉条纹变化数量的准确计数，实现对微小位移量的计算。传统的微小位移测量中，通常采用人眼观察条纹变化的方法来计数，当条纹变化数较多时，由于工作量较大与长时间的视觉集中，容易产生视觉疲劳，造成人工误差，对微小位移测量精度产生影响[5-6]。

针对上述人工计数容易造成的人为误差的缺陷，本文提出了一种基于LabVIEW的图像采集、处理的方法。采用CCD相机对干涉条纹采集，由计算机进行条纹变化计数，从而测量出引起条纹变化的微小位移，为干涉条纹的自动测量提供一种新的可行性技术方法。

1 测量原理及干涉条纹图像采集

1.1 系统测量原理

本实验的测量原理来源于迈克尔逊干涉仪的工作原理。系统光路原理如图1所示，该系统主要包含4个部分：He-Ne激光光源、迈克尔逊干涉系统、干涉条纹采集系统、图像处理系统。由He-Ne激光器发出的激光束经过声光调制器进行光强调制，到达分光镜……