浅议半导体工艺中超声波检测的应用
2021-01-10马琳
科学与生活 2021年26期
马琳
摘要:近年来,半导体系统整体性能提升,相关的半导体系统也发生了较大的变化。尤其是在制造不同类型的半导体时,我们不应丢失与整体器件测试相关的设备和阶段。与其他检测方法相比,超声波检测被公认为独特的过程检测优势。超声波检测有助于认真消除检测错误,让我们专注于提高整体检测精度。
关键词:超声波检测;半导体工艺;具体应用
引言
在半导体和封装行业,复杂的半导体制造工艺会产生钻孔、塑料蜂胶和裂缝等问题。业界常用的非侵入性检查方法包括超声波检查和X射线检查。超声波可用于对各种非侵入性测试方法、应用和半导体技术的研究进行完整比较,我们检查接收到的信号并将其与标准信号进行比较,以自动检测半导体系统中的缺陷。然而,由于半导体系统的复杂性和半导体系统内部结构的复杂性,简单的超声反应方法的应用是不利的。本文基于超声波缩放原理,将包括半导体裂纹检测在内的各种无损检测方法与硅通孔进行了比较,研究了各种半导体封包的失效场景,芯片焊接系统探索超声波检测应用的价值并讨论半导体技术中的超声波检测应用。
1超声波检测涉及到的基本检测理论
超声波检查涉及使用超声波来检测特定材料中的特定内部缺陷,并识别通过波检测检测到的缺陷类型。尤其是检查员放置超声波扫描仪时,要确保探头和样品完全浸没在电离液体范围内。……
登录APP查看全文
