程锦 焦树强 刘晓明

摘要：伴随科学技术的不断进步，EBSD分析技術在材料科学中不断的得到广泛应用。所以，要重视EBSD分析技术的发展。本文主要就EBSD分析技术在材料科学领域的应用展开研究。

关键词：EBSD分析技术;材料科学;应用

所谓的EBSD分析技术就是电子背散射衍射技术，是一种新型的微观分析技术。与X射线能谱仪相类似，EBSD分析技术能够应用到扫描电子显微镜中，能够为观察块状样品提供帮助，让微区化学成分分析和晶体学数据分析得以实现，让扫描电子显微镜的微观分析功能得到拓展。那些具备EBSD分析技术附件的扫描电子显微镜和微区电子探针，能够对块状样品进行晶体结构分析，晶体取向、真实晶粒尺寸测量、应变评估、物相鉴定、材料失效机理研究等等。

一、EBSD分析技术的基本理论

（一）电子背散射衍射花样

如果入射电子束在样品中出现非弹性散射情况，会在晶体内的各个方向上发射散射电子束[1]。散射束的强度伴随散射角度的增大不断减小，形成衍射花样的背底强度。如果在散射的电子束与晶体之中的一面中可满足布拉格衍射条件，就会出现衍射现象。因为散射电子束的方向具有不确定性，所以衍射的电子束会出现在圆锥上面。衍射电子束的强度会伴随入射电子束强度的增加不断增加。这样一来，因为衍射效应，在一些衍射方向上的衍射花样的强度也在不断的增强，在其他方向的衍射花样强度会出现减弱现象。……