摘要：介绍了一种OLED平移式基板清洗装置，其包括驱动机构和清洗机构。驱动机构主要由固定座、电机、偏心轮及往复座组成;清洗机构主要由喷嘴固定架、输入总管及等间距安装于喷嘴固定架上的若干管道组组成，管道组分别与输入总管连通且设置有朝向基板的喷嘴，喷嘴固定架与往复座固定连接且悬置于基板上方。清洗时，电机通过偏心轮带动往复座往复运动，往复座带动喷嘴固定架往复运动，清洗液通过喷嘴固定架上的喷嘴均匀充分地喷洒在基板上，可对直线运动中的基板在线进行不间断快速清洗。该装置主要用于OLED光刻及蚀刻等工艺过程中的基板清洗。

关键词：平移式;基板清洗;偏心轮;往复座;喷嘴;清洗液

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随着各种半导体产品的广泛应用以及半导体技术的发展，半导体产品的批量生产规模越来越大，同时半导体产品的尺寸也越来越大，导致半导体的生产工艺日趋复杂，产品生产不仅要求高精度，还要求高效率及高自动化。因此，对生产半导体产品的生产设备和生产工艺也提出了更高的要求。对于半导体制品，例如有機发光显示器件、液晶显示器件、非晶硅太阳能电池板等，其生产都需要利用玻璃等作为基板，在基板上执行多种工序进而形成多层薄膜，工艺步骤中涉及的光刻、蚀刻等工艺会产生粉尘附着在基板上，影响基板的清洁度。基板清洁度对产品的质量及成品良率有很大影响，因此，在光刻及蚀刻等步骤中必须贯穿清洗步骤，以维持基板在生产过程中的表面清洁度。……