马彦春　何肖良

摘要：以多晶硅的半导体特性，广泛用于微电子产业和光伏产业，为满足太阳能多晶硅快速增长的需求，新的制备技术和过程中大力发展低成本、低能耗的太阳能级多晶硅的主流工艺制备工艺进行了论述。

关键词：多晶硅;生产技术;发展方向

随着世界人口的不断增长，传统化石能源的日渐枯竭，人类开始大力研究开发太阳能、风能、生物质能、地热能、海洋能、等新型能源。据科学家估算，太阳能作为一种最具潜力、最清洁和最普遍的清洁能源，每年辐射到地球上的太阳能为17.8亿千瓦，可开发利用500-1000亿度，而作为光电转换的关键材料多晶硅，随着光伏产业快速发展和需求加速增长，多晶硅作为重要性被高度重视起来并以规模化生产。

一、多晶硅的性质

多晶硅是元素硅的一种形式。当熔融的单质硅在过冷条件下固化时，硅原子以金刚石晶格形式排列成多个晶核。如果晶核生长成具有不同晶体取向的晶粒，则晶粒结合并结晶成多晶硅。多晶硅可作拉制单晶硅的原料，多晶硅与单晶硅的差异主要表现在物理性质方面。例如，在力学性质、光学性质和热学性质的各向异性方面，没有单晶硅明显;在电学性质方面，多晶硅晶体的导电性也远不如单晶硅显著，甚至于几乎没有导电性。在化学活性方面，两者的差异极小。

二、多晶硅生产工艺概述

目前，工业上制备多晶硅的化学方法主要有改良西门子法、硅烷法、流化床法，其他还有冶金法、气液沉积法、高纯金属还原法等。……