王佳利， 田 雨

（中电科风华信息装备股份有限公司， 山西 太原 030024）

引言

低温共烧陶瓷（LowTemperature Cofired Ceramic,LTCC）技术以其集成密度高和高频特性好等优异的电学、机械、热学及工艺特性，成为目前电子元件集成化的主流方式，被广泛应用于电子、通讯、航空航天、汽车、计算机和医疗等领域。

生瓷片印刷工艺作为LTCC 生产工艺流程中的重要环节之一，在生瓷片打孔和印刷工艺之间，为了防止印刷的时候生瓷片产生较大的变形，应用覆膜机给生瓷片贴覆一层保护膜的工艺。

1 覆膜机设备的结构及工作原理

图1 覆膜揭膜机布局图

如图1 所示，覆膜揭膜机主要由上料机构、移载机构、撕膜机构、钢辊黏尘机构、翻转机构、中转机构、覆膜机构、卷膜机构、裁膜拉膜机构、下料机构组成一个整体。此设备前段是环岛机械手，将冲完孔的生瓷片放置到上料平台进行机械定位，然后经过移载机构、撕膜机构将前工序所覆薄膜撕掉并通过钢辊黏尘机构将产品表面的瓷渣去除，再经过翻转、中转将生瓷片吸附到覆膜平台，待拉膜机构、卷膜机构、裁膜机构将需要覆的膜裁好之后，贴膜部件将生瓷片与膜贴合，通过下料部件将覆膜以后的产品运送到下料位进行后续的印刷工艺。

2 覆膜部件设计

覆膜部件是覆膜机的核心部分，如图2 所示，主要包括前端拉带部件、胶辊部件、后端拉带部件、夹带部件、裁膜部件、卷膜部件。其主要功能是完成膜的裁切、对位和贴覆功能。

图2 覆膜部件

其中，前端拉带（下页图3）部件水平方向由模组跟导轨组成运动机构，夹带的松紧是由上下两个气缸跟导向轴组成的夹紧机构；……