吴 轲 黄明洋

（重庆川仪自动化股份有限公司技术中心，重庆401121）

随着分析检测水平的不断发展，由于近红外光谱仪运用在分析检测中得到了极大的运用。近红外光谱分析技术进行分析时，不需要对分析样品进行要预处理，具有快速、能定性定量检测固体、液体和气体物质组分和含量的明显优势，被广泛应用于现代农业、石油化工、食品安全、环境监控等行业[1]。传统的红外光谱仪基于的是阵列探测器，成本高，体积大，严重制约了近红外光谱在检测领域中的应用[2]，因此研制出一款体积小，低功率，高性能的近红外管光谱仪显得尤为迫切[3]。使用扫描微镜作为核心部件的近红外光谱仪可以用单管探测器来代替昂贵的阵列探测器，且扫描微镜本身体积较小，这样既降低了成本，又缩小了光谱仪的体积，因此基于扫描微镜的近红外光谱仪已经成为国内外重要的研究方向。

常见的扫描微镜驱动方式有静电式、压电式、热电式、电磁式。采用静电方式驱动的微镜优点是结构简单，在稳定性和重复性上具有良好的特性，缺点是在由于在转动角度较小，在静电驱动下存在静电吸附现象；采用压电式的驱动方式，受限于压电材料的制造工艺和MEMS 工艺兼容性差，制造性能较好的压电驱动薄膜技术难度大；对于采用热电式驱动方式的扫描微镜具有驱动电压低，转动角度大的优点，但扫描微镜工作时存在相应速度慢，能耗高，且对工作环境有着严格的要求；……