本报讯半导体代工企业间的竞争越演越烈，台积电与三星电子也争先恐后地加强开发速度，EUV（极紫外线）技术将成為决胜关键。

据韩国媒体《ddaily》报道，三星电子和台积电接连购买10台以上的EUV设备。该设备由荷兰ASML独家生产，年产量只有30～40台.每台要价2000亿韩元。台积电与三星电子之所以愿意投巨资，主要是EUV技术是细微工程的核心。EUV徽影技术能将微型的电路图案转印到晶圆上，光源波长只有ArF液浸设备制程的1/14，有效缩小电路大小，电路图案越小，越能提高电效率，井缩小芯片尺寸。

目前，三星电子在EUV翩程中占领先地位。过去代工厂纷纷进入7纳米时代时，三星电子选择采用EUV制程，并于上个月抢先量产EUV制程的7纳米产品冶积电则以现有技术抢占7纳米市场，在订单竞争中占据优势，在2010年从三星手中抢下高通的订单合作至今。但细微工程仍是未来趋势，台积电预计在5纳米制程引入EUV技术。

部分分析指出，三星电子将在EUV时代重掌主导权。NH投资证券分析师指出，三星电子很快引进EUV技术，提前准备的竞争力将在5纳米制程发酵，并追击台积电。但台积电在代工领域拥有压倒性的优势，市场公司Trendforce数据指出，台积电在今年第—季的代工市场市占率为48.1%，接近—半。

（ddaily》分析，三星电子要追上台积电的路还很长。业界相关人士预测，三星电子很难在短时间内追上台积电，之前三星电子预告会大举投资在系统半导体上，加上已经抢先掌握EUV技术，往凌方面追击的可能性很大。