摘 要：制作半导体工艺的时候，工艺流程的不同和不同的工艺参数制作出来的半导体工艺差别非常大，所以在进行半导体工艺生产的时候应该使用设备仪器对其进行测试，对半导体工艺及时的进行监控，之后根据所使用的测试工具对半导体工艺进行需求测试，从而做半导体工艺测试设备应用技术的研究。

关键词：半导体工艺；测试设备；应用技术

一、半导体工艺的研究背景

所谓半导体工艺，就是通过晶片对原材料实现一系列的化学操作或者物理操作，从而制作出所需要的物品器件，比如实验室需要的二极管以及集成电路等，这些半导体工艺类型可以分为四大类，第一类是薄膜工艺类型，第二类为刻印工艺类型，第三类是刻蚀工艺类型，最后一个类型是掺杂工艺，之后在这四大类型基础上对工艺的参数以及研究工艺的技术进行不同程度的加减以及变换，并利用有限的工艺流程进行不断的重复循环，从而实现产品的生产，但是半导体工艺测试设备是非常重要的，他是对半导体工艺过程中充当监控的角色，是对工艺线的重要补充，半导体工艺测试设备应用技术有半导体自身的特殊性，根据这个课题我们展开相应的叙述讨论。

二、半导体工艺的需要

半导体元件制造的过程分为两个过程，第一个过程称之为前道过程，也就是对半导体的晶圆制造过程进行监控，一直到晶圆制造过程完成，第二个过程称之……