吴强　杨玲

摘   要：在现在的信息技术时代，彩色滤光膜是液晶显示器件的重要组成部分，液晶产业的发展，受其技术发展的直接影响，文章对彩色滤光膜中RGB光刻胶性质和功能进行了分析，以期为该技术的发展提供一些理论上的帮助和支持。

关键词：彩色滤光膜;RGB;光刻胶

在当下的信息化时代，液晶显示器已然成为主流显示器，彩色滤光膜通过光刻的原理在白玻璃上做出图形，其高对比度、高平整度、高透过率和色纯度、良好的耐受性等品质和性能在不断地提高。本文对彩色滤光膜RGB光刻胶性质进行了简要的分析和研究，以期为该技术的发展提供一些理论上的帮助和支持。

1    RGB光刻胶

光刻胶包括负性胶和正性胶，主要是依據化学反应机理和显影原理进行划分，负性胶主要是指在光照后形成了不可溶的物质，相反正性胶是指经光照后形成了可溶的物质。一般情况下通过这种性能，将光刻胶作为涂层，在硅片表面上，刻蚀所需的电路图形。缩小曝光加工特征的尺寸，会提高入射光的反射和散射对提高图形分辨率的影响，研发抗反射涂层覆盖正在曝光光刻胶的表面的新型光刻胶技术，使曝光系统分辨率的性能得到提升，这样可以使光刻胶表面对入射光的反射和散射显著减小，使光刻胶的分辨率性能得以提升。先进曝光技术对光刻胶的性能也有更高的要求，为使光刻分辨率得以实现的同时，也一直在发展光刻胶技术。……