袁帅

摘   要：随着电子科技的迅速发展，半导体行业作为现代信息产业的关键产业，其超纯水制备及处理技术也随之快速发展。文章将针对半导体行业超纯水处理系统的优化设计进行研究。

关键词：半导体;超纯水;系统优化

当下我国的超纯水制备领域正在迅速发展，为了研发超纯材料，应用蒸馏、反渗透技术、去离子化或其他适当的超临界精细技术生产出来的水被称为超纯水。在我国科研事业蒸蒸日上的形势下，很多精细程度的实验都需要用到超纯水，以保证实验的效果与水中细菌、病毒等有机物无关。半导体行业是个高耗能的领域，在这个领域中，由于生产设备的精密性和生产工艺的复杂性，对其配套设施提出了很高的要求，尤其对作为半导体行业血脉的超纯水系统更是高之又高。如果想保持竞争力，就要在产量的提高、成本的降低上着手，所以，本文通过对半导体行业中超纯水处理系统的优化设计进行探讨，以期为相关科研工作提供一定理论帮助。

1    超纯水制备流程

随着科研的不断进步和发展，半导体行业需要大量高品质的超纯水。超纯水制备一开始采用了传统的离子交换树脂的方法，这种方法初次投资少，所占地方小，但要不断耗费大量酸碱，进行离子再生，在一定程度上污染了环境。目前比较流行的是采用反渗透加离子交换设备的方法，这种方法虽然初次成本较之前要稍高，但离子再生的周期相对来说较长，耗费的酸碱也比之前要少很多。……