左兴亮 陈宏胤

摘 要 为了提高半导体器件整流二极管材料反向电流（IR）测量结果的一致性，文章根據半导体器件标准GB/T 4023-2015中规定的要求和方法，结合CNAS-CL07：2011，分析了影响测量不确定度的各种因素，建立了不确定度分析和评定的数学模型，经过分析和计算后，准确得到不确定度的评定结果，确定了测量不确定度的可信度。

关键词 反向电流;测量;不确定度

引言

反向电流测试是半导体器件整流二极管测试中极为重要的测试项目，用来评估整流二极管的传导电流的重要指标[1]。由于测试本身就具有很多的不确定性，这就很容易对测试结果的不确定性提出质疑，如何确保测量结果的可信度，即对测试结果的不确定度分析，通过对不确定度进行测量，不但能够有效表现测量结果的分散性，还能够为测量结果边缘值的判定提供有效的依据[2];

本文以GB/T 4023-2015《半导体器件 分立器件和集成电路 第2部分[3]：整流二极管》为实验依据，在温度（25±5）℃，相对湿度45%～75%，气压86KPa～106KPa的环境中进行。

1测量配置和方法

按照标准GB/T 4023-2015中规定的测试方法串联电流电压表进行材料的量测反向电流。

2测量模型的建立

2.1 测量标准及其相关技术指标

本次测量不确定度评定过程中所用的测试装置主要是MPT6103BT测试机，其技术说明书中给出反向电流示值最大允许误差±（1%+0.002μA）。

2.2 测量方法

在规定条件下，设定好测试机的反向电压（VR）1000V，让其依次在产品上流过，即可在测试机的显示屏直接读出反向电流。

2.3 数学模型

反向电流IR的测量值是由测试机的示值IRD直接给出，即