李 丽 王 飞 唐 念 周永言

（1.广东电网有限责任公司电力科学研究院，广东 广州510080；2.浙江省化工研究院有限公司，浙江 杭州310023）

0 前言

六氟丁二烯，又称全氟丁二烯，分子式C4F6，相对分子质量162，熔点-132℃，沸点6℃。其臭氧层消耗潜值（ODP）为0，全球变暖潜值（GWP）值为290，大气寿命小于2 d，是一种绿色环保的全氟代类烯烃。六氟丁二烯是一种重要的含氟单体，可以作为聚合物单体使用，也可作为蚀刻剂应用于半导体行业。作为蚀刻剂与传统的等离子蚀刻剂CF4和C2F6相比，具有更大的蚀刻速率、更高的蚀刻选择性，综合表现为精度高、选择性好。六氟丁二烯的合成研究较早，方法较多，但目前能够工业化大规模制备的路线还较少［1-2］。根据不同的关键中间体对各类合成方法进行分类，并提出具有工业化应用前景的研究路线。

1 四卤六氟丁烷为中间体

以四氯六氟丁烷为中间体的合成方法研究较早，合成路线相对较为复杂。早期研究多以1，2-二氯代乙烯（ClHC＝CHCl）为原料，先与氟气反应二聚后进一步选择性氟化得到中间体四氯六氟丁烷（ClF2CCFClCFClCF2Cl），在过渡金属溶剂存在下进行脱卤得到六氟丁二烯。整个反应的产率和选择性均不高，并存在大量副产物。可能是由于反应过程中使用了活泼性较强的氟气原料，使得产品的选择性较低［1-2］。

Ohno.H等［3］报道了另一种以四卤六氟丁烷为中间体脱卤制备六氟丁二烯的方法。具体是以1，2，3，4-四卤（氯、溴、碘）代丁烷和氟气为原料进行气相氟化得到四卤代六氟丁烷，再脱卤制得六氟丁二烯。……