张俊，杜波，徐园园，刘洋宏，曾小珊

（中国电子科技集团公司 第二十六研究所，重庆 400060）

薄膜体声波滤波器是一种利用压电效应通过声学谐振实现电学选频的器件。具有工作频段宽、体积小、品质因数高、带外抑制好、功率容量大、温度稳定性好以及集成性高等特点，是通信、导航等电子通讯设备中的关键器件，可广泛应用于航天、航空与舰船等国防重点型号工程中。

自1999 年美国安捷伦公司的Ruby[1]等人首次研发成功以来，该技术得到广泛的推广和应用，德国和日本先后研发成功。近几年，随着科研项目的推进和工程经验的累积，中国电子科技集团公司第二十六研究所和天津大学等科研院所也先后成功研制出薄膜体声波滤波器，并陆续应用于各类工程型号和产品系统中。由于其设计难度大、工艺链长且复杂性高等现状，导致目前其可靠性还有较大的提升空间。实际工程应用中，某些滤波器（如XXX1001 型薄膜体声波滤波器）的失效也时有发生，极大地影响了配套型号工程的开发进度。为了满足工程应用要求，必须对滤波器的可靠性进行评估，为其工程应用和后续设计、工艺改进提供技术支撑。

目前国内还未见到该类滤波器可靠性评估的报道，胡瑛等[2]采用统计分析的方法确定了声表面波滤波器的失效分布，刘良芳等人[3]曾采用经典统计法对声表面波滤波器长期可靠性进行过工程化的评估。由于薄膜体声波滤波器和声表面波滤波器设计和工艺有一定的差异，同时薄膜体声波滤波器的应用和失效数据量稍显不足，采用以上类似方法难以准确评估出该类滤波器的可靠性。……