王晓宏，赵青南,，常 潇，陆文涛，董玉红，赵 杰

(1.武汉理工大学,硅酸盐建筑材料国家重点实验室，武汉 430070；2.江苏秀强玻璃工艺股份有限公司，宿迁 223800)

1 引 言

结雾是玻璃表面较常见的现象，会严重降低玻璃的透过率，影响人们的视线，给人们的生活和工作带来诸多不便。因此，进行玻璃的防雾研究具有重大的意义。

防雾薄膜主要有两种：疏水性薄膜、亲水性薄膜。相比于疏水性薄膜，亲水性薄膜具有防雾寿命长、制备方法简单、成本低等优点[1]。TiO2薄膜在紫外光照射下表现出超亲水特性[2]，是一种优良的防雾薄膜材料。然而在停止光照后，TiO2薄膜的润湿角快速上升，并失去超亲水性能，最终失去了防雾效果。为了提高其持久性、改善其性能，人们已经进行了诸多研究，如离子掺杂[3]、表面处理[4]、表面改性[5]以及制备复合薄膜[6-8]，发现通过加入SiO2复合而成的TiO2-SiO2复合薄膜具有较佳的超亲水性。此外，防雾薄膜的摩擦磨损性能对于其使用寿命有一定的影响，因此有必要探讨TiO2-SiO2复合薄膜的耐磨抗磨性。目前，国内外制备TiO2-SiO2复合薄膜大部分都采用溶胶-凝胶法[9-11]，有关采用直流(DC)反应磁控溅射法溅射Ti-Si合金靶材制备超亲水TiO2-SiO2复合薄膜以及同时进行其亲水性与耐磨性的研究相对较少。

本文采用直流(DC)反应磁控溅射法并通过改变靶材中Si/Ti原子比在普通玻璃衬底上制备出不同SiO2含量的TiO2-SiO2复合薄膜，研究了不同Si/Ti原子比对TiO2-SiO2复合薄膜结构、表面形貌、透过率、亲水性能以及摩擦磨损性能的影响，并对结果进行了分析。……