刘学　王艳林　高宏　陈青山

摘要：線性度是传感器静态特性的一个重要指标，为减小电涡流传感器的非线性误差，提高其测量精度，对电涡流传感器的输出结果进行标定。给出了电涡流传感器输出电压与探头线圈和被测金属导体之间距离的关系式，在满足的±0.5mm量程，分辨率达到万分之一的前提下，分别采用直线拟合法和曲线拟合法对电涡流传感器进行标定。实验结果表明，利用曲线拟合采用3阶多项式拟合要比直线拟合法线性误差更小，非线性误差由17.19%降到0.7%。

关键词：精度；电涡流传感器；标定；曲线拟合法

中图分类号：TH711 文献标识码：A 文章编号：1007-9416（2019）01-0080-02

0 引言

目前对非线性补偿问题的解决方法主要有硬件补偿和软件补偿两种方法。前者是在传感器的输出端设置补偿电路来实现非线性补偿功能，但是其电路通常较为复杂且精度比较低，同时在当前的微机化的趋势下，硬件电路补偿逐渐被软件补偿所替代。软件补偿时通过有函数补偿和算法补偿来有效减少信号中的非线性失真，从而提高传感器的精度。目前常用的补偿算法有BP神经网络、RBP神经网络等。函数补偿法通常需要对传感器的输出特性比较清楚的前提下使用，而算法补偿则不需要事先推导关系式，但是神经网络算法本身比较复杂，所以软件处理方法需要根据工作环境而定。

鉴上述，通过对电涡流传感器输入输出关系进行推导，运用函数拟合的方法对电涡流传感器进行非线性校正，计算过程简单且精度满足工业要求，为电涡流传感器的标定提供了一种行之有效的方法。……