郝 禄，陈学森，李 欢，唐 强

(中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京 100176)

随着第一批国产单线、多线切割机的问世，对我国特殊材料生产加工产业起了巨大的推动作用，半导体产业链随之兴起，蓬勃发展。在实际生产中，对硬质材料的切割，传统多线切割机的不足表现的尤为明显。其主要原因在于：金刚线在整个切割过程中，一直与切割表面线接触，致使单位面积受到的切割力不足，容易发生断线，无法保证切割效率和切割质量。

第一台摆动多线切割机的问世[1]，革命性地提高了硬脆材料加工的产能。其最大的特点是金刚线与被切割材料之间发生相对转动，保持金刚线与被切材料的点接触。产生很大的切割力，切割效率和质量都有显著提升。由于摇摆系统结构复杂，造价高且不易维修，至今不能完全替代传统多线切割机。为此设计的线网摆动式多线切割机结构相对简单，成本易控制，可靠性高，是理想的摆动式多线切割机。

1 线网摆动系统结构

图1为线网摆动系统示意图，摆动轮安装在一对特制的交叉圆柱滚子转盘轴承上，由电机和减速机带动摆动轮发生摆动，罗拉安装在摆动轮上，绕线后形成切割线网。工作时，摆动轮以±10°的摆幅发生摆动。带动线网做出摆动切割的动作。

图1 线网摆动系统示意图

相较于传统不摆动的多线切割机，线网摆动系统最大的改变就是切割箱体由前后两侧支撑改为单侧支撑，其强度需要进一步验证。……