于宏柱

(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所， 吉林 长春 130033)

0 引 言

衍射效率是衍射光栅重要光谱性能之一，人们利用“闪耀”的方法，使得衍射光栅的大部分能量集中到某一光谱级次的某一波段，其中某一波长是集光的峰值，此波长称为闪耀波长。同时，光栅衍射效率的准确测定也对光栅制造技术的提高及光栅刻划机精度分析起指导作用，因此,光栅衍射效率的测量在光栅检验工作中占有重要的地位[1-5]。

浙江大学的林中[6]、苏州大学的印建平等[7]曾先后提出过多种用于光栅衍射效率测量的方案，都可以进行光栅衍射效率的测量。但是，受限于当时电子学软硬件发展水平，无法实现待测光栅的自动装调、自动测量。现阶段，光栅的产量不断增加、光栅品种日趋多样化，在光栅检验工作中，迫切需要一种具有全自动测量功能的衍射效率测试仪器。文中在前人基础上通过三轴转台配合光斑自动调整算法设计，实现了不同规格待测光栅的三维位置自动调整功能，从而降低了操作人员的专业技术水平要求和工作强度,使该仪器兼顾了通用性和易用性[6-8]。

1 衍射效率测试仪原理及技术指标

1.1 仪器测量原理

光栅的衍射效率一般有两种定义方法：分别称为绝对衍射效率和相对衍射效率。其中，光栅的绝对衍射效率是指确定的光栅衍射级次衍射光能量与入射光能量的比值；在实际测量过程中，不容易同时得到入射光和衍射光能量的值，采用测量光栅衍射光能量值与相同入射光经过特定光路后光能量的比值，这个比值称为光栅的相对衍射效率[9]。……